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三氟化磷(PF3)

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产品详情

 

 

三氟化磷(PF3)



化学式

PF3

中文名称

三氟化磷

英文名称

Phosphorus  Trifluoride

CAS No.

7783-55-3

分子量

87.969

充装量


应用

发生气体、氟化剂、外延 、离子注入 。作为气态磷离子注入源 。

三氟化磷是一种无机化合物 ,其化学式为PF3 ,在常温常压下为无色无味的有毒气体 ,液态时为无色透明液体 ,空气中不太发烟,相当稳定 ,加热时与氢反应生成PH3,能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解 。可溶于乙醇 。除在高温外,不腐蚀玻璃。


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